半导体工艺仿真：干法刻蚀仿真_（16）.干法刻蚀仿真与实际工艺的对比.docx

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干法刻蚀仿真与实际工艺的对比

在上一节中，我们已经介绍了干法刻蚀仿真的一些基本概念和技术背景。本节将重点讨论干法刻蚀仿真与实际工艺之间的对比，包括仿真模型的准确性、仿真参数的设置、仿真结果的验证等方面。通过这些内容，我们将深入了解仿真在实际工艺中的应用和局限性，以及如何通过优化仿真参数和验证方法来提高仿真的实用性。

仿真模型的准确性

1.物理模型的建立

干法刻蚀仿真中的物理模型是基于实际刻蚀过程中的物理化学反应建立的。这些模型通常包括等离子体动力学、化学反应动力学、表面反应动力学等多方面的知识。物理模型的准确性直接影响到仿真的可靠性和实用性。

等离子体