半导体工艺仿真：扩散工艺仿真_（10）.仿真结果分析与验证.docx

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仿真结果分析与验证

在完成扩散工艺仿真的模拟过程后，重要的一步是对仿真结果进行分析和验证。这一步骤确保仿真模型的准确性和可靠性，能够帮助我们更好地理解扩散过程中的物理现象，并为实际工艺提供指导。本节将详细介绍如何进行仿真结果的分析与验证，包括数据处理、结果可视化、误差分析和模型验证等方面。

数据处理

在扩散工艺仿真中，生成的数据量通常非常大，包括时间和空间上的多种参数。因此，对这些数据进行有效的处理是分析的基础。数据处理的主要步骤包括数据提取、数据清洗和数据转换。

数据提取

数据提取是从仿真软件生成的大量输出文件中提取关键数据的过程。这些数据可能包括：