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- 2025-12-19 发布于四川
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- | 2025-10-31 颁布
- | 2026-05-01 实施
ICS77.040
CCSH17
中华人民共和国国家标准
/—
GBT290562025
代替/—
GBT290562012
硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定
电感耦合等离子体质谱法
Determinationofimuritcontentintrichlorosilaneforsiliconeitax—
pypy
Inductivelcouledlasmamasssectrometr
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