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2025年半导体工艺专业面试题库及答案
一、单项选择题（总共10题，每题2分）
1.在半导体制造过程中，以下哪一种材料通常用于制造晶体管的栅极？
A.铝
B.硅
C.氮化硅
D.氧化硅
答案：C
2.在光刻工艺中，以下哪一种光源是目前最常用的？
A.紫外线
B.红外线
C.X射线
D.可见光
答案：A
3.在离子注入过程中，以下哪一种离子通常用于增加半导体材料的掺杂浓度？
A.硼
B.铝
C.硅
D.氮
答案：A
4.在化学机械抛光（CMP）过程中，以下哪一种材料通常用作抛光液？
A.硅酸钠
B.硅酸乙酯
C.硅烷
D.硅酸甲酯
答案：A
5.在薄
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