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辐射损伤机制与模型
引言
在半导体器件可靠性分析中,辐射效应是一个重要的研究领域。辐射效应主要包括总剂量效应(TotalIonizingDose,TID)、单粒子效应(SingleEventEffects,SEE)和位移损伤(DisplacementDamage)。这些效应不仅影响器件的性能,还可能导致器件的永久性损伤。因此,理解辐射损伤的机制和建立相应的模型对于设计和评估抗辐射半导体器件至关重要。
总剂量效应(TID)
原理
总剂量效应(TID)是指半导体器件在长期暴露于辐射环境中,累积的辐射剂量对其性能的影响。TID效应主要由电离辐射引
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