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MEMS微加热器基板赋能恒温微系统的关键技术与应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的进程中，微机电系统（MEMS）技术作为多学科交叉融合的前沿领域，正深刻地改变着人们的生活和生产方式。MEMS技术凭借其微型化、集成化、智能化以及高性能、低成本等显著优势，在航空航天、生物医疗、环境监测、汽车电子等众多领域展现出了巨大的应用潜力。

MEMS微加热器基板作为MEMS技术的重要组成部分，在恒温微系统中发挥着核心作用。恒温微系统要求系统内的温度能够保持在特定的范围内，以确保系统中各种化学反应、物理过程以及电子元件的正常运行。MEMS微加热器基板能够精确地产生和控制热量