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基于ARM920T的薄膜厚度在线测量系统设计李敏。等

基于ARM920T的薄膜厚度在线测量系统设计

DesignofARM920T—basedOnlineMeasuringSystemforThicknessofThinFiIms

李敏，2俪平

(哈尔滨工业大学航天学院，黑龙江哈尔滨150001；黑龙江八一农垦大学信息技术学院，黑龙江大庆163319)

摘要：为解决薄膜生产过程中厚度在线检测问题，以提高产品质量和生产效率，对薄膜厚度在线测量系统进行了研究。基于光学

三角法测量原理，以ARM920T为核心处理器、嵌入式Linux为操作系统，构造了系统的软硬件平台，并介绍了系统的硬件组成和软件

设计方法。实际生产过程应用表明，该系统能够实现薄膜厚度的在线动态检测和非接触测量，具有高速度、高精度、人机界面友好等

特点，在微小厚度变化量的检测领域具有广阔的应用前景。

关键词：光学三角法薄膜厚度在线测量ARM920T内核嵌入式Linux

中图分类号：TP274文献标志码：A

Abstract：InordertoimplementonlinedetectioninproductionofthinfilmstoenhancethequalityofproductsandproductiveefficiencyIthe

onlinemeasurementsystemforthicknessofthinfilmsisresearched．Basedoilopticaltrigonometryprinciple-ARM920Tcoreprocessor，and

embeddedLinuxoperatingsystem-thehardwareandsoftwareplatformshavebeenconstructed．Thecompositionofsystemhardwareanddesign

methodofsoftwareareintroduced．Theapplicationinpracticalproductionverifiesthathtesystemisabletoimplementonlinedynamicdetection

andnon—contactmeasurementofrthicknessofthinfilms．Thesystemfeatureshighspeed，highaccuracy。anduser—friendlyinterface．Itposses—

seswideapplicableprospectsindetectionareaofrsmallvariationofthickness．

Keywords：OpticaltrigonometryThicknessofthinfilmsOnlinemeasurementARM920TcoreEmbeddedLinux

0引言1测量原理及实现

对于广泛应用于农业生产、电子工业、化学分析、包1．1光学三角法测量原理

装业、医疗行业、环保行业和建筑行业等许多领域的薄薄膜厚度测量采用光学三角法来实现，直射式光

膜而言，在其诸多性能中，薄膜厚度和均匀度是相当关学成像原理如图1所示。

键的参数，它们直接关系到薄膜产品质量、生产成本、应

用效果等重大问题。因此，监测和控制薄膜的厚度与均

匀度已经成为薄膜生产行业中重要的、不可或缺的环

节，而采用高速度、高精度的在线实时非接触检测技术，

则可大幅度提高生产线的效率及自动化程度…。会

本文提出并研制了基于ARM920T内核的薄膜厚

度在线测量系统。该系统采用光学三角法的测量原

理，利用光信号与被测物体的厚度变化之间存在确定

的数学关系，选用CCD光电器件将光信号的变化转换图1直射式光掌成像原理图

成电信号变化；经一系列处理电路后，由嵌入式ARMFig．1Principleofstraightopticali