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2025年工业CT设备在半导体尺寸检测中的自动化测量方案.docx

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    2025年工业CT设备在半导体尺寸检测中的自动化测量方案范文参考

    一、2025年工业CT设备在半导体尺寸检测中的自动化测量方案概述

    1.1工业CT设备在半导体尺寸检测中的优势

    1.2自动化测量方案的设计

    1.2.1设备选型

    1.2.2检测流程优化

    1.2.3自动化控制系统

    1.2.3.1自动识别样品

    1.2.3.2自动扫描

    1.2.3.3自动图像采集

    1.2.3.4自动数据处理

    1.2.4缺陷检测与分析

    1.2.5数据管理与报表生成

    1.3自动化测量方案的实施与优化

    1.3.1

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