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飞秒激光微加工铬掩模版：原理、工艺与应用的深度探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，微纳加工技术作为支撑众多前沿领域发展的关键基础，正发挥着愈发重要的作用。从集成电路制造到生物医学检测，从光学器件制备到量子信息处理，微纳加工技术的进步推动着这些领域不断突破创新。其中，飞秒激光微加工铬掩模版技术以其独特的优势，在微纳加工领域占据着举足轻重的地位。

飞秒激光，作为一种脉冲宽度极短（通常在飞秒量级，1飞秒=10^{-15}秒）的超短脉冲激光，具有超强的峰值功率和高聚焦能力。这些特性使得飞秒激光在与材料相互作用时，展现出一系列独特的物理现象和加工优势。与传统激光加工