关于《半导体器件 微电子机械器件 第21部分：MEMS薄膜材料泊松比测试方法》标准立项的发展报告.docx

关于《半导体器件微电子机械器件第21部分：MEMS薄膜材料泊松比测试方法》标准立项的发展报告

标题：填补国内空白，夯实产业基础——《MEMS薄膜材料泊松比测试方法》标准立项的必要性与战略意义

摘要：

本报告旨在阐述国家标准《半导体器件微电子机械器件第21部分：MEMS薄膜材料泊松比测试方法》立项的必要性、核心价值及预期影响。该标准旨在等同采用国际电工委员会（IEC）标准IEC62047-21:2014，以填补国内在微电子机械系统（MEMS）薄膜材料关键力学参数测试领域的标准空白。通过规范和统一泊松比的测试方法，本标准将为MEMS器件的精确设计、可靠制造与性能评估提供关键的技术支撑，