关于《半导体器件 微电子机械器件 第35部分：柔性MEMS器件弯曲形变下的电特性测试方法》立项的发展报告.docx

关于《半导体器件微电子机械器件第35部分：柔性MEMS器件弯曲形变下的电特性测试方法》立项的发展报告

摘要

本报告旨在阐述《半导体器件微电子机械器件第35部分：柔性MEMS器件弯曲形变下的电特性测试方法》标准立项的必要性与战略价值。随着柔性微电子机械系统（MEMS）技术在可穿戴设备、柔性显示及生物电子等前沿领域的迅猛发展，建立统一、科学的电特性测试方法已成为保障产业健康发展的关键。本标准通过等同采用国际电工委员会（IEC）标准，旨在填补国内在该技术领域的标准空白，为柔性MEMS器件的研发、生产、质量检测与市场应用提供权威技术依据，从而提升我国相关产品的可靠性与国际竞争力，并进一步完善我