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N型金属诱导横向结晶TFT在交直流应力下的退化机制与优化策略探究
一、引言
1.1研究背景与意义
在半导体器件的庞大体系中,薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,TFT)占据着举足轻重的地位,特别是N型金属诱导横向结晶TFT,因其独特的性能优势,在现代电子设备中广泛应用,如液晶显示器(LCD)、有机发光二极管显示器(OLED)以及各类传感器等。其具备高载流子迁移率、良好的开关特性和稳定性,能够有效提升器件的性能和响应速度,为实现高分辨率、高刷新率的显示以及高精度的传感功能提供了关键支撑。
然而,在实际应用中,N型金属诱导横向结晶TFT不可避免地会受到交直流应力的作
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