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;目录;;;(二)标准对半导体镀膜质量的“守门人”作用体现在哪些方面;(三)为何说符合该标准是企业进入高端市场的“敲门砖”;;;;;;(二)关键有害杂质元素(如FeNiO等)的限量指标详解;;;(二)维氏硬度指标的设定范围及对靶材机械加工性的影响;(三)晶粒尺寸与分布要求对靶材溅射均匀性的重要意义;;;1;;化学成分检测的样品制备与试验步骤详解;(二)物理性能检测(密度硬度晶粒尺寸)的操作流程;(三)尺寸与外观检测的具体方法及质量判定逻辑;;铬靶材产品批次划分的标准依据与操作规范;;;;;;;与国际标准(如ASTM相关标准)的关键指标对比;1;;;技术升级将集中在超高纯原料制备先进烧结工艺(如热等静压烧结)精密加工技术等方面,以提升靶材纯度与致密度;同时,智能化生产管控系统将普及,提高产品质量稳定性。
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