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基于激光自混合干涉的微振动测量研究

一、研究背景

在当今的工业生产、精密制造、生物医学等诸多领域，微振动测量都有着至关重要的作用。例如，在半导体制造中，芯片生产设备的微小振动可能会影响芯片的光刻精度，进而导致产品质量下降；在航空航天领域，飞行器零部件的微振动特性关系到飞行的稳定性和安全性；在生物医学领域，细胞的微振动研究有助于深入了解细胞的生理活动。

传统的微振动测量方法存在诸多局限。像电容式传感器测量法，易受电磁干扰影响，测量精度会大打折扣；光学干涉法中的迈克尔逊干涉仪等，通常系统结构复杂，对实验环境要求严苛，操作也不够便捷，难以在一些复杂的现场环境中应用。

而激光自混合干涉技术凭借其独特的