深度解析(2026)《YST 936-2013集成电路器件用镍钒合金靶材》.pptxVIP

;目录;;标准制定的行业背景：集成电路发展对镍钒靶材的迫切需求;该标准并非单一针对生产或应用环节，而是构建了从原料要求到成品验收的全链条技术规范。其核心定位是打通镍钒靶材上下游衔接壁垒，明确生产企业检测机构下游应用方的技术共识，为质量判定提供统一依据，保障器件制造的稳定性。;;;化学成分指标：镍钒含量配比的精准界定与设定依据;;;;原料采购环节：镍钒原料的质量准入标准与检验要求;熔炼铸造是决定合金成分均匀性的核心环节。标准对熔炼设备工艺参数（如熔炼温度保温时间）提出原则性要求，明确铸造过程中需控制的缺陷（如缩孔夹杂）。要求企业通过过程参数记录与监控，确保合金成分均匀，无明显内部缺陷。;;;;化学成分检测：光谱法等技术的选用逻辑与操作规范;;（三）表面与内部质量检测：无损检测技术的应用与标准要求;;包装要求：防潮防氧化的防护设计与标准规范;（二）运输环节：防震防碰撞的安全要求与执行要点;;;;;;先进制程对镍钒靶材的新要求：性能指标的升级方向;（二）标准迭代的核心方向：兼顾技术先进性与产业可行性;（三）专家预判：未来5-10年镍钒靶材标准的发展路径;;痛点一：产品质量参差不齐——标准的统一化解决方案;（二）痛点二：检测结果不具可比性——标准的检测体系解决方案;上游生产企业与下游应用方因技术标准认知不一，常出现供需不匹配问题。该标准构建了上下游共同遵循的技术规范，明确了靶材质量要求与应用适配性指标。双方可依据标准开展对接，减少沟通成本，解决衔接不畅的痛点，提升产业链协同效率。;;与国际主流标准的对标：核心指标的异同点分析;;;;;生产环节需严格按标准要求执行：原料采购需索要质量证明并抽样检测；熔炼加工环节需监控关键工艺参数；成品检测需覆盖全项目并做好记录。建议引入过程质量监控系统，实时追踪指标达标情况，及时发现并解决执行过程中的问题。;