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电子材料仿真：半导体材料仿真_21.半导体材料仿真软件介绍与使用.docx

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    21.半导体材料仿真软件介绍与使用

    21.1常用半导体材料仿真软件概述

    在半导体材料仿真领域，有多种软件可供选择，每种软件都有其独特的功能和应用范围。本节将介绍一些常用的半导体材料仿真软件，包括其主要特点和应用场景。

    21.1.1SentaurusTCAD

    SentaurusTCAD是由Synopsys公司开发的一套全面的半导体工艺和器件仿真工具。它包括多个模块，如SentaurusProcess、SentaurusDevice和SentaurusInterconnect，可以用于仿真从材料生长、工艺步骤到最终器件性能的整个过

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