扫描电子显微镜2011研究生电镜实验培训.pptVIP

扫描电子显微镜的结构

和工作原理;扫描电镜成像原理;扫描电镜成像原理;扫描电镜的结构和工作原理;电子枪与灯丝;场发射电子枪;VF=FlashingVoltage;;热场发射灯丝涂层的消耗;;电磁透镜——聚光镜;偏转系统;信号检测放大系统;二次电子;2.背散射电子

被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子，包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。;3.吸收电子

由于非弹性散射能量损失殆尽，最后被样品所吸收的电子。;5．特征X射线

原子的内层电子被入射电子激发或电离释放出的具有特征能量X射线。

;入射电子与样品作用体积;像衬原理及其应用;像衬原理及其应用;BE信号强度与Z的关系;*;原子序数衬度原理及其应用;原子序数衬度原理及其应用;二次电子相背散射电子像

（白色：Sn；灰色：Al2O3）;二次电子+背散射电子拓扑像;环境扫描电镜的特殊结构与性能;ESEM特殊结构与性能;（1）放大倍数

定义：荧光屏上的扫描振幅

电子束在样品上的扫描振幅

放大倍数与扫描面积的关系(若荧光屏画面面积为10×10cm2):

放大倍数扫描面积

10×(1cm)2

100×(1mm)2

1,000×(100μm)2

10,000×(10μm)2

100,000×(1μm)2;扫描电镜放大倍数从几十放大到几十万倍，连续可调。放大倍率不是越大越好，要根据有效放大倍率和分析样品的需要进行选择。如果放大倍率为M，人眼分辨率为0.2mm，仪器分辨率为5nm，则有效放大率M＝0.2×106nm?5nm=40,000（倍）。如果选择高于40,000倍的放大倍率，不会增加图像细节，只是虚放，一般无实际意义。放大倍率是由分辨率制约，不能盲目看仪器放大倍率指标。;（2）分辨率

定义：样品上可以分辨的两个邻近的质点或线条间的距离。

测量方法：拍摄图象上，亮区间最小暗间隙宽度除以放大倍数。（现在可以用傅里叶变换来完成。）

影响SEM图像分辨率的主要因素有：

①扫描电子束斑直径；

②入射电子束在样品中的扩展效应；

③操作方式及其所用的调制信号；

④信号噪音比；

⑤杂散磁场；

⑥机械振???将引起束斑漂流等，使分辨率下降。

目前，场发射扫描电子显微镜的分辨率已经可以达到埃量级。;式中D为工作距离，a为物镜光阑孔径，M为放大倍率，d为电子束直径。可以看出，长工作距离、小物镜光阑、低放大倍率能得到大景深图像。;能谱仪;在Si(Li)晶体两端偏压来收集电子空穴对→（前置放大器）转换成电流脉冲→（主放大器）转换成电压脉冲→（后进入）多通脉冲高度分析器，按高度把脉冲分类，并计数，从而描绘I－E图谱。;*;波谱仪;波谱仪的两种工作模式;*;Thanks