多补偿结构赋能：MEMS电容式压力传感器高精度之路探究.docxVIP

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2025-12-26 发布于上海
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多补偿结构赋能：MEMS电容式压力传感器高精度之路探究.docx

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多补偿结构赋能：MEMS电容式压力传感器高精度之路探究

一、绪论

1.1研究背景与意义

1.1.1研究背景

随着科技的飞速发展，微电子机械系统（MEMS）技术作为一种融合了微电子技术、微机械加工技术、材料科学等多学科的前沿技术，已经在众多领域展现出巨大的应用潜力和发展前景。MEMS技术的出现，使得传统的机械系统得以微型化，实现了微传感器、微执行器、微结构等多种微机电部件的集成制造，为现代工业和科技的发展提供了全新的解决方案。自20世纪60年代MEMS概念首次被提出以来，经过几十年的发展，MEMS技术取得了长足的进步。20世纪80年代，随着微电子制造技术的不断革新，ME