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硅基马赫曾德干涉仪：高级光调制格式下的调制器性能与创新研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，人们对数据传输速率和容量的需求呈现爆炸式增长。在云计算、大数据、物联网、5G乃至未来6G通信等新兴技术蓬勃发展的时代背景下，光通信作为一种能够实现高速、大容量信息传输的技术，已成为现代通信网络的核心支柱。光通信系统凭借其高带宽、低损耗、抗电磁干扰等显著优势，在全球信息基础设施中发挥着不可或缺的作用，从海底光缆构建的洲际通信链路，到城市中密集的数据中心互联，再到深入千家万户的光纤到户（FTTH）网络，光通信技术无处不在，支撑着海量数据的快速、稳定传输。

在光通信系统中，光调制器是实现电信号到光信号转换的关键核心器件，其性能优劣直接决定了整个光通信系统的传输效率、信号质量以及能耗水平。光调制器的主要功能是将携带信息的电信号加载到光载波上，通过改变光的强度、相位、频率或偏振态等特性，实现信息的光域编码与传输。不同类型的光调制器基于不同的物理原理和技术实现，其中基于硅基马赫曾德干涉仪（Silicon-basedMach-ZehnderInterferometer，Si-MZI）的光调制器由于具备诸多独特优势，近年来在学术界和工业界都受到了广泛关注。

硅基材料作为现代半导体工业的基础材料，具有成熟的大规模集成电路（VLSI）制造工艺、优异的光学和电学性能以及与现有CMOS工艺高度兼容的特性。基于硅基材料制备的马赫曾德干涉仪光调制器，不仅能够充分利用硅基工艺的高精度、低成本、高集成度优势，实现小型化、片上集成的光调制功能，还能与其他硅基光电器件（如光探测器、光放大器、光波导等）以及电子器件（如晶体管、放大器等）在同一芯片上进行大规模集成，构建高度集成的硅基光电子集成芯片（SiliconPhotonicsIntegratedChip）。这种高度集成的芯片有望打破传统光通信系统中光电器件分立、体积庞大、功耗高的瓶颈，为实现高速、低功耗、低成本的光通信系统提供了极具潜力的解决方案，对于推动光通信技术向更高速率、更大容量、更低成本和更高集成度方向发展具有重要意义。

此外，随着高级调制格式（AdvancedModulationFormats，AMFs）在光通信中的广泛应用，对光调制器的性能提出了更为严苛的要求。高级调制格式通过对光信号的多个维度（如幅度、相位、偏振等）进行联合调制，能够在有限的带宽资源内显著提高频谱效率，增加数据传输容量，是实现长距离、高速率光通信的关键技术之一。然而，这些复杂的调制格式需要光调制器具备高精度的调制能力、宽的调制带宽、低的插入损耗和高的消光比等性能指标，以确保调制后的光信号具有良好的信号质量和抗干扰能力。传统的光调制器在面对高级调制格式时往往难以满足这些严格要求，而基于硅基马赫曾德干涉仪的光调制器通过结构优化、材料创新以及新型调制技术的引入，在实现高级调制格式方面展现出了独特的优势和潜力，为解决高级调制格式在实际应用中的技术难题提供了新的途径和方法。

综上所述，开展基于硅基马赫曾德干涉仪的高级调制格式光调制器研究，对于满足未来光通信系统对高速、大容量、低功耗和高集成度的迫切需求，推动光通信技术的持续创新与发展，提升我国在光电子领域的核心竞争力，具有重要的理论意义和实际应用价值。

1.2国内外研究现状

在国外，对基于硅基马赫曾德干涉仪光调制器的研究起步较早，众多科研机构和高校在该领域取得了丰硕的成果。例如，美国的加州理工学院、斯坦福大学以及英特尔公司等在硅基光电子集成技术方面处于国际领先水平，他们在硅基马赫曾德干涉仪光调制器的设计、制备工艺以及与高级调制格式的结合应用等方面进行了深入研究。英特尔公司率先将硅基光调制器应用于数据中心光互连领域，实现了高速率、低功耗的数据传输，推动了硅基光电子技术在实际通信系统中的商业化应用进程。在调制速率方面，国外研究团队通过优化调制器结构和材料，不断提高硅基马赫曾德干涉仪光调制器的调制速率，目前已实现了高达100Gbps甚至更高的调制速率，满足了高速光通信系统对数据传输速率的严格要求。在与高级调制格式的融合方面，国外研究人员成功将硅基马赫曾德干涉仪光调制器应用于正交相移键控（QPSK）、多进制相移键控（M-PSK）、正交幅度调制（QAM）等多种高级调制格式中，通过实验验证了其在提高频谱效率和数据传输容量方面的有效性。

在国内，近年来随着国家对光电子领域的重视和科研投入的不断增加，众多科研院所和高校在基于硅基马赫曾德干涉仪光调制器的研究方面也取得了长足的进步。中科院半导体研究所、清华大学、上海交通大学等单位在硅基光电子器件的研究中成绩斐然，在硅基马赫曾德干涉仪光调制器的关键技术研究、性能优化以及新型结构探索等