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GaN器件金刚石近结集成热管理技术研究进展
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GaN器件金刚石近结集成热管理技术研究进展
摘要:随着GaN器件在电力电子、高频电子等领域的广泛应用,其热管理问题日益突出。金刚石近结集成热管理技术作为一种新型的热管理方法,具有优异的热导率、热膨胀系数小等优点,在解决GaN器件热管理问题上具有显著优势。本文综述了金刚石近结集成热管理技术在GaN器件中的应用研究进展,分析了不同金刚石材料、结构及其对热管理性能的影响,并探讨了金刚石近
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