CN104328397B-一种低温快速化学镀三元合金镍‑钼‑磷的化学镀液-授权.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN104328397B

(45)授权公告日

2018.04.10

(21)申请号201410639979.7审查员王蔚

(22)申请日2014.11.13

(65)同一申请的已公布的文献号

申请公布号CN104328397A

(43)申请公布日2015.02.04

(73)专利权人沈阳工业大学

地址110870辽宁省沈阳市经济技术开发

区沈辽西路111号

(72)发明人孙硕苏博陈科伶张萌萌

(74)专利代理机构沈阳智龙专利事务所(普通

合伙)21115

代理人宋铁军周楠

(51)Int.Cl.

C23C18/50(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图1页

(54)发明名称

一种低温快速化学镀三元合金镍-钼-磷的

化学镀液

(57)摘要

本发明公开了一种化学镀三元合金镍-钼-

磷的镀液配方，其目的是为了解决目前在化学镀

三元合金镍-钼-磷的技术存在的镀液温度高，沉

积速度低，结晶粗大，镀液稳定性差等问题。本发

明的配方包括硫酸镍、次磷酸钠、钼酸钠、焦磷酸

钠、三乙醇胺、硫酸铵、pH为8.0-9.5，镀液温度

55-75℃，本发明镀液温度明显降低，沉积速度显

著提高。扫描电镜结果表明：镀层结晶细小，致

密。镀液的稳定好，室温贮存30天仍可使用，镀层

质量良好。本发明化学镀液可广泛应用于化学镀

的工艺中。

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CN104328397B权利要求书1/1页

1.一种低温快速化学镀三元合金镍-钼-磷的化学镀液，其特征在于：该化学镀液配方

如下：

硫酸镍：

36克/升，

次磷酸钠：

36克/升，

钼酸钠：0.6-1.5克/升，

焦磷酸钠：50-70克/升，

三乙醇胺：10-20mL/L，

硫酸铵：5-40克/升，

氨水：1-15mL/L，

pH

：8.0-9.5，

温度：55-70℃，

加水至规定体积。

2

2

CN104328397B说明书1/5页

一种低温快速化学镀三元合金镍-钼-磷的化学镀液

技术领域

[0001]本发明涉及材料表面处理领域中的镍-钼-磷三元合金化学镀，特别是用表面化学

处理方法对金属材料表面进行镍-钼-磷三元合金改性的化学镀液配方。

背景技术

[0002]三元合金镍-钼-磷镀层比二元合金镍-磷镀层更加优异，化学镀三元合金镍-钼-

磷，目前在集成电路铜互连领域，燃料电池铝合金双极板表面改性等领域有很好的应用前

景。在燃料电池中，采用铝合金作为双极板材料，取代石墨电极材料，可以大幅度减轻燃料

电池重量和体积，然而铝合金耐蚀性差和铝表面由于氧化会引起高的接触电阻。如果在铝

合金表面化学镀镍-钼-磷三元合金镀层，可以提高铝的耐蚀性和导电性。镍-钼-磷镀层在

集成电路铜互连领域可用于扩散阻挡层，防止铜扩散到二氧化硅中，对提高硅基集成电路

的可靠性非常重要。镍-钼-磷三元合金镀层在电磁性能方面尤为突