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纳米尺度MOSFETs自热效应研究

摘要

随着半导体技术不断向纳米尺度迈进，金属氧化物半导体场效应晶体管（MOSFETs）的自热效应成为影响其性能与可靠性的关键因素。本文深入剖析纳米尺度下MOSFETs自热效应的产生机制，综合运用理论分析、数值模拟与实验研究等方法，探究自热效应对器件电学特性、可靠性及电路性能的影响规律，并介绍当前针对自热效应的抑制策略与研究进展，为纳米尺度MOSFETs的优化设计与热管理提供理论依据与技术参考，旨在推动半导体器件在高性能、低功耗方向的持续发展。

关键词

纳米尺度；MOSFETs；自热效应；热管理

一、引言

自热效应（Self-HeatingEff