CN115198257B-一种晶圆封装的无氰沉金环保型配液及化学镀方法-授权.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN115198257B

(45)授权公告日2024.02.02

(21)申请号202210822718.3(56)对比文件

(22)申请日2022.07.12CN105568269A,2016.05.11

CN107385892A,2017.11.24

(65)同一申请的已公布的文献号

CN113005437A,2021.06.22

申请公布号CN115198257A

CN113046736A,2021.06.29

(43)申请公布日2022.10.18CN114232038A,2022.03.25

(73)专利权人深圳创智芯联科技股份有限公司JP2013224496A,2013.10.31

地址518101广东省深圳市宝安区新安街CN101734708A,2010.06.16

马玉山.《控制阀设计及先进制造技术》.北

道留仙二路中粮商务公园1栋14楼

京：机械工业出版社,2021,第366页.

1403A

审查员闫晓慧

(72)发明人姚玉

(51)Int.Cl.

C23C18/44(2006.01)

C23C18/18(2006.01)

C23C18/52(2006.01)

C01G7/00(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图1页

(54)发明名称

一种晶圆封装的无氰沉金环保型配液及化

学镀方法

(57)摘要

本发明公开了一种晶圆封装的无氰沉金环

保型配液及化学镀方法。该配液包括以下质量浓

度的组分：金盐2‑15g/L、复合加速剂30‑60mg/L、

络合剂5‑20g/L、晶核细化剂20‑60mg/L、还原剂

20‑60mg/L、稳定剂30‑90mg/L、复合抑制剂5‑

15mg/L、分散剂35‑70mg/L、去极化剂10‑30mg/L。

该发明得到的金镀层无色差，致密平整，无脆性

折镀及裂纹等现象，金缸稳定性优良达到半年以

上不会出现发红等问题，本配方所采用的试剂均

属环保型。

B

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2

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1

5

1

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N

C

CN115198257B权利要求书1/2页

1.一种晶圆封装的无氰沉金环保型配液，其特征在于，包括以下质量浓度的组分：

金盐2‑15g/L、复合加速剂30‑60mg/L、络合剂5‑

20g/L、晶核细化剂

20‑60mg/L、还原

剂20‑60mg/L、稳定剂30‑90mg/L、复合抑制剂5‑15mg/L、分散剂35‑70mg/L、去极化剂10‑

30mg/L；

pH为6.0‑7.0

所述复合抑制