超磁致伸缩作动器激光干涉位移测量系统.pdfVIP

数据采集与处理测控技术•123*

2019年第38卷第2期

超磁致伸缩作动器激光干涉位移测量系统

王安明14%孟建军123%白欢杨杏1

(1.兰州交通大学机电工程学院甘，肃兰州730070;2.兰州交通大学机电技术研究所甘，肃兰州730070;

3.甘肃省物流及运输装备信息化工程技术研究中心甘，肃兰州730070;

4.西安铁路职业技术学院牵引动力学院陕，西西安710014)

摘要：由于超磁致伸缩作动器的位移在微米级，对其精确测量至关重要，针对激光干涉测量技术中分立

元件迈克尔逊激光干涉仪存在环境要求高、调整烦琐和易受干扰等缺点，采用全光纤迈克尔逊干涉仪简

化测量前的准备工作；并借助高性能动态信号采集卡，配合L/VIEW图形化编程工具，应用贝塞尔函数

干涉条纹细分技术提高测量精度，开发了超磁致伸缩作动器位移测量系统。实验证明测量误差与理论

计算相符，表明测量结果是准确可靠的。该系统适用于超磁致伸缩作动器位移的实验研究和现场测量，

可为微位移的测量提供一种参考方法。

关键词！超磁致伸缩作动器;位移；激光干涉；贝塞尔函数;L/VIEW

中图分类号:TH822;TP202文献标识码:A文章编号！1000-8829(2019)02-0123-05

doi：10.19708/j.ckjs.2019.02.026

LaserInterferometricDisplacementMeasurementSystemforGiant

MagnetostrictiveActuator

WANGAn-ming14,MENGJian-jun123,BAIHuan1,YANGXing1

(1.SchoolofMechanicalEngineering,LanzhouJiaotongUniversity,Lanzhou730070,China;2.MechatronicsTRInstitute,Lanzhou

JiaotongUniversity,Lanzhou730070,China;3.EngineeringTechnologyCenterforInformatizationofLogisticsTransportEquipment,

Lanzhou730070,China;.SchoolofTractionPower,Xi’anRailwayVocationalTechnicalInstitute,Xi’an710014,China)

AbstractOwingto：thedisj)lacementoftliegiantmagnetostrictiveactuatorisinthemicronlevel,itisveryim­

portantforitsaccuratemeasurement.InordertoovercometheshortcomingsoftheMichelsoninterferometer,