某型罗茨真空泵转子系统动力学特性与优化研究.docx

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2025-12-30 发布于上海
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某型罗茨真空泵转子系统动力学特性与优化研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代工业生产中，真空技术扮演着举足轻重的角色，广泛应用于电子、化工、食品、制药、航空航天等众多领域。罗茨真空泵作为一种重要的容积式真空泵，凭借其独特的工作原理和优良的性能特点，在真空获得设备中占据着不可或缺的地位。

罗茨真空泵通过泵腔内一对同步反向旋转的叶形转子，将气体从进气口推向排气口，从而实现抽气的目的。其工作过程中，转子之间以及转子与泵壳之间保持微小间隙，无需油润滑，这使得罗茨真空泵具有无油污染、结构简单、抽速大、工作效率高、能够在较宽的压力范围内稳定运行等显著优势。在电子工业中，它用于半导体制造过程中的真空