半导体探测器课件.pptxVIP

半导体探测器课件单击此处添加副标题XX有限公司汇报人：XX

01半导体探测器概述02半导体探测器类型03半导体探测器工作原理04半导体探测器技术参数05半导体探测器制造工艺06半导体探测器应用实例目录

半导体探测器概述01

定义与原理半导体探测器是以半导体材料为探测介质的辐射探测器。定义入射粒子在半导体中产生电子-空穴对，在外电场作用下漂移形成信号。原理

发展历程1950年代后，硅锗探测器、化合物半导体探测器、高纯锗探测器等相继出现。快速发展阶段19世纪末至1940年代，光电效应雏形出现，真空管光电管用于光信号检测。1940至1950年代，能带理论提出，晶体管发明，PN结光伏效应被发现。理论奠基阶段早期探索阶段

应用领域用于核医学成像与放射性药物检测，精准定位病灶核医学诊断检测材料内部缺陷，确保工业产品质量安全工业无损检测高能物理实验中精确测量粒子径迹与能量粒子物理实验010203

半导体探测器类型02

硅探测器基质材料为p型硅，锂原子扩散补偿受主杂质，需液氮温度下工作，能量分辨率高。硅-锂探测器采用全耗尽原理，位置分辨率达1.4μm，响应时间约5ns，用于高能物理实验。硅微条探测器

锗探测器高纯锗探测器基于高纯锗晶体，需液氮冷却，具高能量分辨率，用于暗物质探测等。N型高纯锗探测器采用N型高纯锗，薄型入射窗，适用于低能射线测量。P型高纯锗探测器基于P型高纯锗，厚入射窗，适用于γ射线能谱测量。

其他材料探测器碲化镉、砷化镓等用于制备X、γ射线探测器，性能优异。化合物半导体石墨烯、硫化钼等二维材料制成光探测器，响应速度快。二维材料探测器

半导体探测器工作原理03

载流子产生与收集射线入射半导体，激发电子-空穴对，形成载流子。载流子产生在外电场作用下，电子和空穴分别漂移至两极被收集。载流子收集

信号放大机制利用射极跟随器与灵敏放大电路，将微弱信号初步放大为脉冲信号。前置放大电路通过SK滤波电路对信号进行滤波和降噪，提升信噪比后输出。滤波降噪处理

能量分辨率能量分辨率是探测器区分γ射线峰的能力，用全能峰半高宽与峰位能量比值量化。定义与计算受探测器晶体性能、电子学噪声及信号处理算法等影响，半导体探测器分辨率更优。影响因素

半导体探测器技术参数04

能量分辨率能量分辨率指探测器区分最小能量间隔，由全能峰半高宽与峰位能量比值定义。定义与计算0102受晶体性能、噪声、信号处理及材料纯度等因素影响。影响因素03高纯锗探测器可达2keV半高宽，硅漂移探测器低于150eV。典型参数

时间分辨率时间分辨率实际测量中，通过窄能带选择技术，硅面垒探测器对裂变碎片的时间分辨率可达90ps，但受等离子体效应限制。半导体探测器理论时间分辨率可达亚纳秒级，如金硅面垒探测器对特定粒子测量可达0.56ns。简介：半导体探测器纳秒级响应，受等离子体效应影响。理论极限010302实际测量0405

空间分辨率影响因素受探测器像素大小、信号处理算法等因素影响。定义解析空间分辨率指探测器区分相邻两点最小距离的能力。0102

半导体探测器制造工艺05

材料提纯与晶体生长采用精馏、电解等方法，去除杂质，提升材料纯度至电子级。提纯工艺01运用直拉法、区熔法等技术，生长出高质量单晶，确保晶体结构完美。晶体生长02

探测器结构设计P型与N型半导体直接接触，形成耗尽层，带电粒子进入后产生电子-空穴对。P-N结型设计01在N型硅表面蒸镀薄层金属，形成整流特性，以涂金层为阴极，N型硅为阳极。面垒型设计02利用外延生长技术制备多层结构，改进粒子鉴别，提高能量和定时测量信噪比。外延层设计03

制造流程与质量控制半导体探测器制造涵盖晶圆加工、氧化、光刻、刻蚀、薄膜沉积、互连、测试、封装八大核心步骤。制造流程通过批次管理、变化点管控、过程能力监控及质量追溯体系，确保产品符合标准。质量控制

半导体探测器应用实例06

医疗成像光脉医疗D-SPECT?采用CZT探测器，图像清晰度提升2-5倍，辐射剂量降低至1/4-1/2。心脏专用SPECTXR-100T-CdTe探测器高灵敏度捕捉乳腺钙化灶，助力早期乳腺癌诊断。乳腺摄影应用

安全检测在核设施周边，利用半导体探测器监测核辐射，保障安全。核辐射监测半导体探测器用于机场等场所行李安检，高效检测违禁品。行李安检

物理实验粒子探测实验利用半导体探测器精确测量粒子能量与轨迹，助力粒子物理研究。核辐射监测在核物理实验中，半导体探测器用于实时监测核辐射强度与类型。

谢谢ThankyouXX有限公司汇报人：XX