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水基硅片清洗剂.doc

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    配方水基硅片清洗剂

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    硼酸钠

    2.5

    焦磷酸钾

    2

    椰子油烷基醇酰胺磷酸酯

    3.5

    脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠

    5

    柠檬酸

    3

    乙醇

    36

    助剂

    4.4

    去离子水

    110

    助剂

    硅烷偶联剂KH-570

    2.5

    植酸

    1.5

    吗啉

    3.5

    甲基丙烯酸-2-羟基乙酯

    3.5

    抗氧剂1035

    1.5

    乙醇

    14

    制备方法将去离子水、硼酸钠、焦磷酸钾、椰子油烷基醇酰胺磷酸酯、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠、柠檬酸、乙醇混合，在1000～1200转／分搅拌下，以6～8℃／分的速率加热到60～70℃，加入其他剩余成分，继续搅拌15～20分钟，即得。

    原料配伍

    所述助剂由下

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