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锶掺杂PZT薄膜的特性调控与器件应用研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代科学技术的快速发展进程中,材料科学作为关键支撑,不断推动着各个领域的创新与进步。压电材料作为一类特殊的功能材料,能够实现机械能与电能之间的相互转换,这种独特的压电效应使其在众多领域展现出不可或缺的重要性。从日常生活中的打火机、蜂鸣器,到工业领域的超声波检测、无损探伤,再到高端科技领域的航空航天、医疗成像等,压电材料都发挥着关键作用。

在众多压电材料中,锆钛酸铅(PZT)薄膜以其优异的铁电、介电、压电、热释电和光电性能脱颖而出,成为研究和应用的热点。PZT薄膜具有较高的压电系数,可达150pm/V,是许多其

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