266nm紫外DPL在微电子加工中的关键技术与应用研究.docxVIP

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2026-01-04 发布于上海
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266nm紫外DPL在微电子加工中的关键技术与应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

微电子技术作为现代信息技术的核心，在过去几十年中取得了飞速发展，深刻改变了人们的生活和工作方式，推动了全球科技和经济的巨大进步。从最初的简单晶体管电路到如今高度复杂的超大规模集成电路，微电子技术的发展历程见证了人类智慧和科技力量的伟大。如今，微电子技术已广泛渗透到智能手机、电脑、智能家居、汽车电子、医疗设备、航空航天等众多领域，成为现代社会不可或缺的关键技术。

在微电子加工过程中，光刻技术是实现芯片制造的核心工艺之一，其精度直接决定了芯片的性能和集成度。随着摩尔定律的不断推进，芯片制造商一直在追求更小的特