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深度解析(2026)《SJT 10584-1994微电子学光掩蔽技术术语》.pptxVIP

深度解析(2026)《SJT 10584-1994微电子学光掩蔽技术术语》.pptx

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    一二三四五六七八九十一光掩蔽技术基础：从标准术语体系构建窥见微电子制造基石与未来智能化演进

    （一）标准之源：为何SJ/T10584-1994是理解光掩蔽技术不可逾越的起点？

    术语是技术交流与知识传承的基石。本标准作为我国微电子光掩蔽领域的早期规范性文件，系统性地构建了从设计到制造的术语框架。它为当时乃至后来的技术发展提供了统一的语言规范，避免了因术语歧义导致的技术误解与沟通成本。其历史价值在于奠定了标准化基础，即使技术迭代，其核心术语体系依然发挥着重要的参考作用。

    （二）专家深度剖析：“光掩蔽”与“光刻”的术语边界界定及其工艺逻辑关联

    本标准明确区分了“光掩蔽”与“光

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