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Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd. 武汉颐光科技有限公司 光谱椭偏仪 ME-Mapping 用户手册.pdf

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    ME-Mapping光谱椭偏仪

    武汉颐光科技有限公司

    WuhanEopticsTechnologyCo.,Ltd.

    设备介绍

    ME-Mapping椭偏仪可以满足大尺寸晶圆的多点自动化扫描测量需求，

    自定义绘制测量路径，支持实时显示膜厚分布以及数据汇总。设备采用双

    旋转补偿器调制技术，直接测量16

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