Poligrind研磨轮 PW06 – PA2534 300 × 3W × 7T - SR 说明书.pdf

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GrindingWheels

Poligrind

Poligrind

在迪思科公司的晶背研磨用研削磨轮产品群中又新增加了Poligrind(

抛旋光性研削磨轮)产品。通过在纵向切入式研机的精加工研削轴(

Z2轴)上使用Poligrind(抛旋光性研削磨轮),在不需要增加新设备

及改变现有生产技术的条件下,亦可改善晶圆的精加工表面粗糙度和

抗折强度,获得更高的加工质量。

●能够在现有纵向切入式研削机上安装使用。

●能够在不改变原有加工技术的条件下,提高抗折强度等加工质量。

●与现有的Z2轴(精加工研磨)

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