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研究报告

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具有迟滞特性的微流体比例阀改进复合控制算法

一、引言

1.迟滞特性微流体比例阀概述

(1)迟滞特性微流体比例阀作为一种重要的微流控器件，在生物医学、化学分析、微电子等领域具有广泛的应用。微流体比例阀的迟滞特性是指阀门在不同工作状态下，控制流量与控制信号之间存在的非线性关系。这种非线性关系通常表现为阀门的开启和关闭响应时间的不一致，导致流量控制的不稳定和精度下降。例如，在生物医学领域，微流体比例阀常用于血液细胞计数和细胞培养等实验，迟滞特性会影响实验结果的准确性和重复性。

(2)迟滞特性的产生与微流体比例阀的结构和材料有关。阀体内部的微小缝隙和流