基于OCT与光栅对准的剪切干涉测量系统设计.docx

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2026-01-06 发布于山东
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基于OCT与光栅对准的剪切干涉测量系统设计.docx

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基于OCT与光栅对准的剪切干涉测量系统设计

一、系统概述

1.系统背景与意义

(1)随着科学技术的飞速发展，光学测量技术在各个领域都发挥着至关重要的作用。特别是在精密工程、生物医学、航空航天等领域，对高精度、高分辨率的光学测量技术需求日益增长。传统的光学测量方法如干涉测量、衍射测量等，虽然具有较好的测量精度，但在测量范围、测量速度等方面存在一定的局限性。近年来，光学相干断层扫描技术（OCT）作为一种新兴的光学测量技术，因其高分辨率、高灵敏度、非接触测量等优点，受到了广泛关注。OCT技术通过测量光与样品相互作用后的光场变化，可以实现对样品内部结构的无损、高精度