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半导体晶圆切割技师（高级）考试试卷及答案

一、填空题（每题1分，共10分）

1.晶圆切割中，______是指切割刀轮与晶圆表面的接触角度，通常范围为15°-25°。

2.激光切割晶圆时，常用的激光类型包括紫外激光和______激光。

3.晶圆切割前的贴膜工序，目的是______，防止裂片。

4.切割刀的主要磨损形式包括刃口磨损和______。

5.晶圆切割的“划片”步骤中，刀轮切入深度一般需超过晶圆厚度的______%（范围）。

6.用于晶圆切割的设备通常称为______。

7.晶圆切割后的缺陷类型中，______是指切割道边缘出现的微小裂纹。

8.激光切割晶圆时，______参数直接影响切割速度和精度。

9.切割刀轮的材质通常为______（如金刚石）。

10.晶圆切割后需进行______工序，去除切割产生的碎屑。

二、单项选择题（每题2分，共20分）

1.以下哪种不是晶圆切割的常用方法？

A.机械划片B.激光切割C.化学腐蚀D.超声切割

2.机械划片时，刀轮转速一般控制在______范围？

A.1000-3000rpmB.30000-60000rpmC.100000-200000rpmD.5000-10000rpm

3.激光切割晶圆中，紫外激光的优势是？

A.切割速度快B.热影响区小C.设备成本低D.适用厚晶圆

4.晶圆切割前，贴膜的膜材应具备以下哪种特性？

A.高粘性B.低弹性C.耐高温D.易剥离

5.机械划片的核心部件是？

A.激光发生器B.刀轮组件C.真空吸盘D.清洗喷嘴

6.以下哪种缺陷属于切割后的致命缺陷？

A.微裂纹（深度≤晶圆厚度5%）B.崩边（宽度≤10μm）C.裂片D.碎屑残留

7.激光切割晶圆时，若出现切割道边缘熔融，可能原因是？

A.激光功率过低B.切割速度过快C.激光频率过高D.功率密度过大

8.机械划片的切入深度计算依据不包括？

A.晶圆厚度B.膜材厚度C.刀轮直径D.刀轮材质

9.晶圆切割后的清洗工序常用哪种清洗液？

A.去离子水B.酒精C.丙酮D.盐酸

10.以下哪种情况会导致机械划片刀轮寿命缩短？

A.切割速度过慢B.切入深度不足C.刀轮压力过大D.晶圆表面平整

三、多项选择题（每题2分，共20分）

1.晶圆切割的主要工艺步骤包括？

A.晶圆上料B.贴膜C.划片D.清洗E.裂片

2.机械划片的关键参数有哪些？

A.刀轮角度B.转速C.切入深度D.切割速度E.激光功率

3.激光切割晶圆的优势包括？

A.无刀轮磨损B.适用脆性材料C.可切割窄切割道D.设备成本低E.无碎屑

4.晶圆切割后的常见缺陷有？

A.崩边B.微裂纹C.裂片D.膜材残留E.激光打偏

5.贴膜工序的注意事项包括？

A.膜材无褶皱B.晶圆无气泡C.膜材对齐切割道D.膜材粘性均匀E.贴膜后立即切割

6.机械划片刀轮的维护要点有？

A.定期清洗B.检查磨损C.更换时校准D.避免碰撞E.涂润滑油

7.激光切割晶圆的常用激光波长包括？

A.355nm（紫外）B.1064nm（红外）C.532nm（绿光）D.266nm（深紫外）E.1550nm（红外）

8.晶圆切割设备的核心功能模块包括？

A.上料模块B.划片模块C.清洗模块D.检测模块E.裂片模块

9.影响机械划片精度的因素有？

A.刀轮精度B.晶圆定位精度C.设备振动D.环境温度E.膜材厚度

10.激光切割晶圆时，避免热影响区的方法有？

A.降低激光功率B.提高切割速度C.采用脉冲激光D.增加切割道宽度E.减少脉冲宽度

四、判断题（每题2分，共20分）

1.机械划片比激光切割的切割道更窄。（）

2.晶圆切割时，切入深度越深，裂片风险越低。（）

3.紫外激光切割晶圆的热影响区比红外激光小。（）

4.贴膜工序的膜材粘性越高越好。（）

5.机械划片刀轮的角度越大，切割阻力越小。（）

6.激光切割晶圆不需要清洗工序。（）

7.晶圆切割前需对晶圆进行预对准。（）

8.裂片是晶圆切割的常见致命缺陷。（）

9.激光功率越高，切割速度越快，精度越高。（）

10.机械划片的刀轮材质通常为金刚石。（）

五、简答题（每题5分，共20分）

1.简述机械划片和激光切割的主要区别。

2.晶圆切割前贴膜的目的及注意事项是什么？

3.如何判断机械划片刀轮是否需要更换？

4.简述晶圆切割后清洗工序的作用及常用方法。

六、讨论题（每题5分，共10分）

1.分析薄晶圆（厚度≤50μm）切割时的难点及解决方案。

2.讨论如何通过工艺优化降低晶圆切割的崩边缺陷。

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参考答案

一、填空题

1.刀轮角度2.红外3.固定晶圆4.崩刃5.10-206.划片机7.微裂纹8.功率/频率9.金刚石10.清洗

二、单项选择题

1.C2.B3.B4.D5.B6.C7.D8.D9.A10.C

三、多项选择题

1.ABCD2.ABCD3.A