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光电信号检测;一、电荷耦合器件CCD电荷存储
应用:信息存储和处理、光学图像信号转变为电子图像数据。
;CCD是由金属-氧化物-半导体(简称MOS)构成的密排器件。
这种MOS结构,一般是在p型(或n型)Si单晶的衬底上生长一层100-200nm的SiO2层,再在SiO2层上沉积具有一定形状的金属电极(称做栅极),一般是金属铝。;1.MOS电容的热平衡态特性
a)当栅电压VG=0时,这时在p型半导体中将有均匀的空穴分布(多数载流子)。
此时表面的存在对半导体内电子运动没有影响,半导体中的水平能量线一直延伸到表面,并与表面垂直。金属的费米能级EFM与p型材料费米能级EFP处于同一水平。;b)
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