单驱动变角式广义椭偏仪的控制系统设计.docx

研究报告

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单驱动变角式广义椭偏仪的控制系统设计

一、1.系统概述

1.1系统背景

(1)随着科技的飞速发展，光学测量技术在各个领域中的应用越来越广泛。在光学加工、精密制造等领域，对光学元件的尺寸、形状和表面质量等参数的精确测量提出了更高的要求。传统的测量方法往往存在效率低、精度不足等问题，难以满足现代工业生产的需求。为此，单驱动变角式广义椭偏仪作为一种新型的光学测量设备，凭借其高精度、高效率的特点，在光学测量领域得到了迅速推广。

(2)单驱动变角式广义椭偏仪的工作原理是基于椭偏法，通过测量光在椭球面上的反射和透射特性，可以实现对光学元件表面质量的精确测