2025年国内半导体光刻胶行业技术壁垒突破技术突破方向.docx

2025年国内半导体光刻胶行业技术壁垒突破技术突破方向模板范文

一、2025年国内半导体光刻胶行业技术壁垒突破技术突破方向

1.1光刻胶研发与生产技术突破

1.1.1提高光刻胶的分辨率与均匀性

1.1.2降低光刻胶的线宽边缘粗糙度（LEFR）

1.2新型光刻胶的开发与应用

1.2.1开发新型光刻胶

1.2.2研究光刻胶在纳米级光刻中的应用

1.3光刻胶的绿色环保技术突破

1.3.1研发低挥发性有机化合物（VOC）光刻胶

1.3.2研究光刻胶的可回收利用技术

1.4光刻胶产业链的协同创新

1.4.1加强光刻胶产业链上下游企业的合作

1.4.2推动光刻胶产业技术创新联盟的建