深度解析(2026)《GBT 43313-2023碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试共焦点微分干涉法》.pptxVIP

深度解析(2026)《GBT 43313-2023碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试共焦点微分干涉法》.pptx

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一洞察技术革新前沿：为何共焦点微分干涉法成为碳化硅衬底表面与微管缺陷精准表征的行业里程碑？

二解构方法核心原理：从光学干涉到数字成像，专家视角深度剖析共焦点微分干涉技术的内在物理机制与信号生成路径

三拆解标准操作全流程：一步步指导从样品准备设备校准到图像采集与处理的标准化测试程序与关键控制点

四精准定义表面质量参数：深度解读标准中粗糙度划痕凹坑等表面特征的量化指标体系与分类判定准则

五攻克微管密度检测难题：专家剖析如何利用光学对比度差异实现非破坏性高分辨率的微管缺陷识别与统计方法论

六仪器性能与校准体系构建：深入探讨共焦点微分干涉显微镜的核心性能参数要求校准规范及期间核查要点

七数据

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