半导体厂务项目工程管理 课件 项目7 任务7-2 特殊气体的介绍.pptx

半导体厂务项目工程管理

项目七气体的分类

任务7-2特殊气体的介绍

任务7-2特殊气体的介绍【相关知识】什么是特殊气体特殊气体是指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。在目前工艺技术较为先进的半导体晶圆代工厂的制造过程中，全部工艺步骤超过450道，其中大约要使用50种不同种类的气体。除了大宗气体，特殊气体主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体以及其他为各种制程设备所使用的惰性气体等。

任务7-2特殊气体的介绍【相关知识】特殊气体的分类（1）按特气在压力容器中的状态分类特气在运输、储存、输送过程中都是充装在压力