固体电子学仿真：半导体材料仿真_（21）.多物理场耦合仿真技术.docx

PAGE1

PAGE1

多物理场耦合仿真技术

在固体电子学仿真中，多物理场耦合仿真技术是一个非常重要的部分。它涉及到在同一个系统中同时考虑多个物理场（如电场、磁场、热场、应力场等）的影响，以更准确地模拟和分析半导体器件的性能。这一节将详细介绍多物理场耦合仿真的原理和应用，并通过具体的例子来说明如何在仿真软件中实现这些技术。

1.多物理场耦合的基本概念

多物理场耦合是指在一个系统中，多个物理场相互作用、相互影响的过程。在半导体材料仿真中，常见的多物理场包括电场、磁场、热场、应力场等。这些物理场之间的耦合作用可以显著影响器件的性能和可靠性。例如，在功率器件中，高温会导致材料性能下