半导体厂务项目工程管理 课件 项目3 任务3.1 FMCS监控系统网络架构.pptx

半导体厂务项目工程管理

项目三FMCS监控系统

任务3-1FMCS监控系统网络构架

任务3-1FMCS监控系统网络构架FMCS系统网络架构FMCS（FacilityManagementandControlSystem）即厂务监控系统，是半导体厂内制程中使用的监控系统。它用于监控并记录厂区内特定的、有危害的、影响制程状态或系统资料的信息，以便及时处理问题及进行后续分析。FMCS是工业级的控制系统，监视并控制着服务于FAB生产的各子系统。子系统包含但不局限以下系统：洁净室、空调、中央动力、超纯水、废水处理、收集系统、化学品供应、气体供应、真空系统、电力系统等。

任务3-1FM