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研究报告

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MEMS光纤振动传感器在大型电机设备异常监测场景中的应用研究

一、1.MEMS光纤振动传感器概述

1.1MEMS光纤振动传感器的基本原理

MEMS光纤振动传感器的基本原理基于微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，简称MEMS）技术，该技术将微电子与机械系统相结合，实现了对微小物理量的感知和测量。在MEMS光纤振动传感器中，主要利用光纤的应变效应和光干涉原理来实现对振动信号的检测。光纤本身具有极高的抗电磁干扰能力和长距离传输能力，这使得MEMS光纤振动传感器在工业监测领域具有广泛的应用前景。

具体来说，当光纤