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研究报告
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单驱动变角式广义椭偏仪的控制系统设计
一、控制系统总体设计
1.系统架构设计
系统架构设计作为单驱动变角式广义椭偏仪控制系统的核心部分,其目标是确保系统能够高效、稳定地运行,同时满足精确测量和数据处理的需求。在系统架构设计阶段,我们首先进行了模块化设计,将系统划分为多个独立而又相互协作的模块。这些模块包括但不限于驱动控制模块、传感器数据采集模块、数据处理与分析模块以及人机交互模块。每个模块都承担着特定的功能,确保了系统在各个层面的稳定性和灵活性。
驱动控制模块是整个系统架构中的关键组成部分,负责接收控制算法输出的指令,并驱动执行机构完成变角操作。为
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