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中科银河芯温湿度传感器GXHT3x-DIS GXHT30 GXHT31 GXHT35说明书.pdf

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    GXTH3X

    温湿度传感器GXHT3X-DIS温湿度传感芯片：

    产品概述：

    GXHT3x-DIS是中科银河芯开发的新一代单芯片集成温湿度一

    体传感器。它基于中科银河芯极微弱信号检测设计平台以及

    MEMS工艺设计平台开发完成。在硅基CMOS晶圆上集成高灵敏

    度MEMS湿敏元件，从而可以减少多芯片信号传输的干扰，降

    低芯片面积，提高封装可靠性。它有两个供用户选择的I

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