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一专家深度剖析:ISO8181:2023如何重新定义原子层沉积技术的全球对话基石与未来话语体系?
二原子层沉积(ALD)核心概念解构与辨析:从“循环”与“自限性”看技术本质与边界界定
三工艺参数与反应机制术语全解:深入饱和吸附前驱体与副产物等专业词汇的微观世界
四薄膜特性与性能表征词汇权威解读:如何精准描述与评估ALD薄膜的质量与功能?
五反应器类型与系统配置术语详解:从空间ALD到批量式,设备词汇如何映射技术演进路径?
六前驱体与化学反应术语深度探究:解析配体吸附位点等词汇背后的化学逻辑与选择智慧
七缺陷污染与工艺控制关键术语:专家视角下的过程监测与质量保证词汇体
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