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国家标准《金刚石单晶抛光片》

编制说明（征求意见稿）

一、工作简况

1标准立项的目的和意义

金刚石作为新材料领域的重要组成部分，常被用于高功率半导体器件、高功率微波窗

口、高性能扬声器振膜、声表面波器件、红外光学窗口材料等领域，利用其优异的光学、

力学和热学等性质，对于发展机载、弹载、舰载等红外搜索与跟踪系统所用的光学窗口和

整流罩，X射线衍射仪、太赫兹波段用行波管、CO激光器、拉曼激光器、布里渊激光器等2

有重要的意义，是国家战略布局“新基建”关键产业的重要支撑。同时，金刚石半导体对

于建成可循环的高效、高可靠性的能源网络起到至关重要的作用，可实现光伏、风电（电

能生产），直流特高压输电（电能传输），新能源汽车、工业电源、机车牵引、消费电源

（电能使用）等领域的电能高效转换，推动绿色能源低碳发展，是助力社会节能减排并实

现“碳中和”目标的重要力量。

《“十四五”原材料工业发展规划》-三、促进产业供给高端化-（三）突破关键材料中

明确提及开展宽禁带半导体材料技术攻关。金刚石(Diamond)具有硬度高、强度大、导热性

好、热膨胀系数小、光学性能优异、化学稳定性高、抗辐照能力强、声传播速度快、介电性

能好、透射波段宽、禁带宽度大、介电系数小等优点。同时，2022年1月1日起实施的《重

点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》中，发展“先进金刚石复合材料及制品”

入选其中。

目前，全球人造金刚石市场规模1152亿美元，工业电子市场80亿美元（包括光学级、

电子级、热沉级和工具）。以激光器为例，2020年全球激光器市场规模突破160亿美元，

封装材料所占成本预计在5-10%左右。金刚石是首选封装材料，因其同时具有极高的热导率

和电阻率,在诸如高功率激光二极管阵列散热片和高功率电子器件（系统）的热管理（散热）

方面有非常好的应用前景。高功率激光器在激光器中占比20%，金刚石在激光器行业的市场

为10-20亿人民币规模。我国通讯领军企业已重点布局金刚石与硅基逻辑芯片键合技术，金

刚石光学窗口片在X射线、微波窗口、导弹窗口等医疗、设备、新型武器和激光器领域将有

巨大的应用，其典型应用是作为在8-12μm工作的红外热成像制导高速导弹窗口（头罩）、

高功率CO工业激光窗口和高功率微波窗口(Gyrotron)。市场领导者II-VI公司，2020年2

光学窗口营收8.28亿美元（约60亿人民币），2019年在该市场的营收是6.99亿美元（约

50亿人民币）。CVD金刚石光学窗口片预计每年增长10%（复合年增长率2023-2030）。

鉴于金刚石抛光片近几年的迅猛发展，为更好的适应其在热沉级、光学级和电子级等领

域的应用需求，制订《金刚石单晶抛光片》国家标准是十分必要的。《金刚石单晶抛光片》

国家标准的制定，不仅能解决行业共性问题，更是从战略层面推动我国高端材料产业瓶颈突

破。能从技术发展、产业升级、市场规范、国际贸易和资源高效利用等多维度助力相关行业

发展。

1.1统一技术指标

金刚石单晶抛光片广泛应用于半导体、光学器件、精密刀具等领域，其质量直接影响下

游产品的性能和可靠性。当前行业的技术参数存在不统一、检测方法差异大等问题，导致产

品质量参差不齐。通过制定国家标准，明确关键性能指标和测试方法，可为生产、检验提供

统一依据，减少质量纠纷。

1.2促进工艺优化

标准制定将倒逼企业改进合成技术（如CVD法、高温高压法）和抛光工艺，提升单晶纯

度、尺寸一致性及表面平整度，推动我国核心技术自主可控。

1.3应对国际技术垄断

当前国际市场主要由欧美、日本企业主导，其凭借技术标准形成隐形壁垒。建立中国自

主标准，可为国内企业参与国际竞争提供技术背书，减少对国外标准的依赖。

1.4引导产业链协同

通过标准化金刚石单晶抛光片的规格、技术参数等，促进上游设备制造商（如晶体生长

设备）、中游加工企业（如切割、抛光）与下游应用端（如半导体晶圆厂）的高效衔接，降

低协作成本。

1.5服务半导体产业自主化

金刚石单晶抛光片是未来芯片制造中的关键材料，其标准化生产可提升国产半导体设备

的配套能力，同时降低对进口材料的依赖，助力解决“卡脖子”问题。

2任务来源

根据《国家标准化管理委员会关于下达2024年第七批推荐性国家标准计划及相关标准

外文版计划的通知》(国标委发(2024)44号)的要