CN116147796B 基于压力和温度的自供电柔性传感器及其制作方法和应用 （厦门大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN116147796B(45)授权公告日2025.07.01

(21)申请号202310136129.4

(22)申请日2023.02.20

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN116147796A

(43)申请公布日2023.05.23

(73)专利权人厦门大学

地址361000福建省厦门市思明南路422号

(72)发明人周伟计东生陈锐王锦成吴莽静

(74)专利代理机构厦门市首创君合专利事务所有限公司35204

专利代理师连耀忠

(51)Int.CI.

G01K7/16(2006.01)

GO1L1/22(2006.01)

HO2N11/00(2006.01)

C23C14/35(2006.01)

C23C14/20(2006.01)

(56)对比文件

CN110736559A,2020.01.31

CN115356007A,2022.11.18

US2022146340A1,2022.05.12

JinchengWang等.IntegratingIn-PlaneThermoelectricityandOut-Plane

PiezoresistivityforFullyDecoupled

Temperature-PressureSensing.small.2023,(第第20期期),第2307800页.

审查员叶泽立

权利要求书2页说明书7页附图3页

(54)发明名称

基于压力和温度的自供电柔性传感器及其制作方法和应用

(57)摘要

CN116147796B本发明公开了一种基于压力和温度的自供电柔性传感器及其制作方法和应用，该传感器包括由下至上依次层叠设置的下电极层、热电自供电层、热阻传感层、互锁压敏层和上电极层；下电极层和上电极层用于测量热电自供电层由于被测物体与环境之间的温差所产生的电势差；互锁压敏层包括上压敏层和下压敏层，上压敏层和下压敏层中相对的两个表面均设有微结构并且构成互锁连接，在压力作用下改变上压敏层和下压敏层的接触面积并产生电阻变化；热阻传感层中填充有液态金属，通过液态金属的体积变化改变热电自供电层与下压敏层的接触面积并产生电阻变化。由于热阻传感层和互锁压敏层电阻变

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CN116147796B权利要求书1/2页

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1.一种基于压力和温度的自供电柔性传感器，其特征在于，包括由下至上依次层叠设置的下电极层、热电自供电层、热阻传感层、互锁压敏层和上电极层；所述下电极层和上电极层用于测量所述热电自供电层由于被测物体与环境之间的温差所产生的电势差；所述互锁压敏层包括上压敏层和下压敏层，所述上压敏层和所述下压敏层中相对的两个表面均设有微结构并且构成互锁连接，在压力作用下改变所述上压敏层和下压敏层的接触面积并产生电阻变化；所述热阻传感层包括设有贯穿的槽道的第一聚合物，所述槽道内填充有液态金属，在温度变化作用下通过所述液态金属的体积变化改变所述热电自供电层与所述下压敏层的接触面积并产生电阻变化，所述互锁压敏层的弹性模量小于所述热阻传感层和所述热电自供电层的弹性模量。

2.根据权利要求1所述的基于压力和温度的自供电柔性传感器，其特征在于，所述微结构为以阵列形式排布的脊形、圆锥形、金字塔形、圆柱形、半球形中的一种或多种结构。

3.根据权利要求1所述的基于压力和温度的自供电柔性传感器，其特征在于，所述槽道包括螺旋形槽道，所述螺旋形槽道的中心设有通孔，所述液态金属填充在所述通孔中并至多延伸至螺旋形槽道的四分之一，并与所述下压敏层下表面和所述热电自供电层上表面接触形成电性连接。

4.根据权利要求1所述的基于压力和温度的自供电柔性传感器，其特征在于，所述热电自供电层采用热电材料和第二聚合物混合构成，所述热电材料为石墨烯、聚(3,4-乙烯二氧噻吩):聚(苯乙烯磺酸盐)、聚苯胺、聚(3-己基噻吩-2,5-二基)、聚吡咯、聚偏氟乙烯中的一种或多种。

5.根据权利要求4所述的基于压力和温度的自供电柔性传感器，其特征在于，所述互锁压敏层采用导电材料和第三聚合物混合构成，所述导电材料为碳纳米管、炭黑、碳化物、金纳米颗