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公司掩膜版制造工工艺作业操作规程

文件名称：公司掩膜版制造工工艺作业操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司掩膜版制造工在生产过程中，涉及掩膜版制造、清洗、检验等环节的操作。规程旨在确保操作人员的人身安全及设备安全，提高生产效率，保证产品质量。操作人员需严格按照本规程执行，并接受定期培训和考核。规程包含基本规定、设备操作、物料管理、安全防护等方面内容。

二、操作前的准备

1.防护用具的使用

a.操作人员必须佩戴适当的个人防护装备，包括但不限于防护眼镜、防尘口罩、防化学品手套、防静电服装等。

b.防护眼镜应确保能够完全覆盖眼睛，防止化学液体、固体颗粒等进入眼睛。

c.防尘口罩应选择适合的型号，确保能够有效过滤空气中的尘埃和有害物质。

d.防化学品手套应选择适合接触的化学品类型，确保手套材质不会与化学品发生反应。

e.防静电服装应确保穿着舒适，且能够有效防止静电的产生和积累。

2.设备启机前的检查

a.检查设备外观是否有损伤，如裂缝、磨损等，如有异常应立即上报并停止使用。

b.检查设备各部件的紧固情况，确保无松动现象。

c.检查设备电路系统，确保线路无破损、无裸露，电气元件无异常。

d.检查设备运行参数，如温度、压力等，确保在正常工作范围内。

e.进行设备润滑，确保各运动部件运行顺畅。

f.检查设备的安全防护装置是否正常，如紧急停止按钮、限位开关等。

3.作业区域的准备

a.清洁作业区域，确保无尘、无杂物，地面无油污、水迹等。

b.检查照明设备，确保光线充足，无暗角。

c.检查通风设备，确保空气流通，无异味。

d.检查紧急疏散通道，确保畅通无阻。

e.检查消防设施，确保消防器材完好、充足。

f.检查警示标志，确保清晰可见。

g.检查应急物资，如急救箱、灭火器等，确保随时可用。

操作人员在进行上述准备工作时，应仔细认真，确保各项准备工作到位，为后续操作提供安全可靠的环境。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作步骤

a.首先进行设备预热，确保设备温度达到正常工作状态。

b.按照设备操作手册，依次启动设备各部分，包括但不限于清洗装置、曝光装置、显影装置等。

c.检查设备各部分运行是否正常，如发现问题立即停止操作并上报。

d.根据工艺要求，调整设备参数，如温度、压力、曝光时间等。

e.开始进行掩膜版的清洗、曝光、显影等工艺流程。

f.工艺完成后，进行掩膜版的检验，确保质量符合标准。

g.最后关闭设备，进行设备清洁和保养。

2.特殊工序操作规范

a.清洗工序：使用适当的清洗液和工具，按照规定的清洗流程进行，确保掩膜版表面无残留物。

b.曝光工序：严格控制曝光时间，确保掩膜版图案清晰，无曝光不足或过度。

c.显影工序：使用指定显影液，按照规定时间进行显影，避免显影不均匀。

3.异常工况处理方法

a.设备异常：立即停止设备运行，切断电源，检查设备故障原因，并按程序进行维修。

b.物料异常：检查物料是否过期、变质，如有问题立即停止使用，并通知相关人员处理。

c.环境异常：如发现异常气味、烟雾等，立即撤离现场，启动应急预案，并通知相关部门。

d.人员异常：如操作人员出现身体不适，应立即停止操作，并送往医务室进行救治。

e.工艺异常：如发现工艺参数不符合要求，应立即停止操作，调整工艺参数，重新进行操作。

在整个操作过程中，操作人员应严格遵守操作规程，对每个步骤进行细致检查，确保操作安全、准确、高效。遇到异常情况时，应冷静处理，遵循应急预案，确保人员和设备安全。

四、操作过程中机器设备的状态

1.正常工况参数

a.设备运行温度：设备运行时，各部件温度应保持在设备制造商规定的范围内，通常有明确的温度指示灯或温度计进行监测。

b.设备运行速度：曝光机、显影机等设备应按照工艺要求保持稳定的运行速度，速度控制器应设定准确。

c.设备压力：对于需要控制压力的设备，如清洗槽、显影槽等，压力应维持在规定的范围内，通常有压力表进行监测。

d.设备电流：设备运行时，电流应稳定在正常工作电流范围内，异常电流可能表明设备内部存在故障。

e.设备振动：设备运行时，振动应在可接受的范围内，过度的振动可能影响设备精度和操作人员的安全。

2.典型故障现象

a.设备异常噪音：设备运行时发出异常噪音，可能是轴承损坏、齿轮磨损或其他机械部件故障。

b.设备温度异常：设备温度过高或过低，可能是冷却系统故障或设备过载。

c.设备压力异常：清洗槽、显影槽等设备压力异常，可能是泵故障或管道堵塞。

d.设备电流异常：设备运行时电流