高热导石墨衬底上氧化锌薄膜的超声喷雾热解法生长机制与性能优化研究.docx

高热导石墨衬底上氧化锌薄膜的超声喷雾热解法生长机制与性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学的广阔领域中，半导体薄膜材料以其独特的物理性质和多样的应用潜力，成为研究的焦点之一。氧化锌（ZnO）薄膜作为一种具有代表性的半导体薄膜，凭借其出色的综合性能，在众多领域展现出了巨大的应用价值。

ZnO是一种II-VI族宽禁带氧化物半导体材料，常温下禁带宽度约为3.37eV，具有优异的光电、压电、介电及晶格特性。其激子结合能高达60meV，远高于室温下的热离化能（26meV），这使得ZnO在室温下能够实现高效的激子复合发光，为其在光电器件领域的应用奠定了坚实基础。例